真空腔體水氣解吸附組件2

儀器簡(jiǎn)介：

ZCUVE代表了水蒸氣解吸技術(shù)的新進(jìn)展。*的設(shè)計(jì)可從2.75“擴(kuò)展到8"法蘭尺寸，比例更高的紫外線功率因數(shù)和更大的法蘭尺寸。

ZCUVE的設(shè)計(jì)是為了解吸大型沉積室中的水，在這種情況下，真空室內(nèi)不可能有暴露的紫外線發(fā)射器。標(biāo)準(zhǔn)的現(xiàn)成百葉窗可以用來(lái)防止ZCUVE在沉積過(guò)程中被涂層。

該工藝適用于o型環(huán)（Viton）密封真空室，沒(méi)有任何其他烘烤方式，也適用于較小尺寸的負(fù)載鎖。
技術(shù)參數(shù)：

真空腔體水氣解吸附組件2

一個(gè)外部組件容納紫外線發(fā)射器，它位于高紫外線傳輸，超高真空窗口后面。發(fā)射器背面的鏡子進(jìn)一步改善了185納米紫外線通過(guò)窗戶進(jìn)入真空室的傳輸。ZCUVE外殼用惰性氣體回填，以防止外殼內(nèi)產(chǎn)生臭氧。最后，發(fā)射極引線通過(guò)MHV高壓連接器連接到控制裝置。

利用UVC輻射解吸水蒸氣的優(yōu)點(diǎn)是產(chǎn)生的熱量很少。更少的熱量意味著對(duì)機(jī)械零件和樣品的損壞更少。

另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，UVC不需要一個(gè)直接的位置線來(lái)解吸水蒸氣。它不能進(jìn)入角落和縫隙，但它能反射出拋光表面（如室壁），每次“反彈"損失50%至70%。

主要特點(diǎn)：

UVB-100

The UVB-100 uses UVC radiation to desorb water vapor without heat. The emitter extends into the vacuum chamber.

ZCUVE

The ZCUVE (Zero Clearance UV Emitter Water Vapor Desorption System) uses UVC radiation to desorb water vapor without heat. The emitter resides outside the vacuum chamber.

注：這些水蒸氣解吸產(chǎn)品設(shè)計(jì)用于高真空系統(tǒng)、大真空、腔室和負(fù)載鎖。它們不是為了取代超高真空系統(tǒng)中的輻射烘烤方法而設(shè)計(jì)的，而是與超高真空兼容的