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spin coater勻膠機(jī)既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

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勻膠機(jī)，旋涂?jī)x其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

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MDA-20SA光刻機(jī)產(chǎn)地：韓國(guó)MIDAS公司，唯1能做到圖形化藍(lán)寶石襯底（PSS）光刻機(jī)，高性價(jià)比。

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MDA-80FA全自動(dòng)光刻機(jī)，操作簡(jiǎn)單，PLC操作，PC控制，圖像采集和數(shù)據(jù)記錄，100多個(gè)程序配方，顯微鏡位置控制系統(tǒng)，自動(dòng)對(duì)齊標(biāo)記搜索功能。