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真空快速退火爐-材料設備

簡要描述:真空快速退火爐-材料設備
一般都是以紅外鹵素燈為發(fā)熱元件,升溫速度極快,采用熱電偶測溫并采用*的PID控制,具有很高的控溫精度,快速退火爐具有真空裝置,可在多種氣氛下工作。大大提高了其使用范圍。

  • 產(chǎn)品型號:Real RTP 100
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-12-04
  • 訪  問  量:4157

詳細介紹

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真空快速退火爐-材料設備

真空快速退火爐-材料設備(RTP)一般都是以紅外鹵素燈為發(fā)熱元件,升溫速度極快,采用熱電偶測溫并采用國際*的PID控制,具有很高的控溫精度,快速退火爐具有真空裝置,可在多種氣氛下工作。大大提高了其使用范圍。


儀器規(guī)格:
加熱方式:紅外鹵素鎢燈;
最大樣品尺寸: 2--6寸,單片;
最高溫度: 1200度;
工作氣體:最多3路氣體(MFC控制),可通入氧氣,氮氣及惰性氣體;
極限真空:5e-3torr;
真空泵:機械泵(可選配分子泵,干泵);
工藝控制:手動工藝控制;
循環(huán)水冷卻,提高降溫速度;
結(jié)構(gòu)緊湊,經(jīng)濟實惠。


應用:
快速熱升溫工藝(熱退火);
薄柵氧化(納米器件);
低熔點壓焊(反應金屬壓焊);
硅化物構(gòu)造;
硅化物界點構(gòu)造等。



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