氣氛可控開(kāi)爾文探針-材料表征

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氣氛可控開(kāi)爾文探針RHC020 氣氛控制掃描開(kāi)爾文探針是控制氣氛檢測(cè)樣品的理想解決方案，50x50mm樣品加熱器可將樣品溫度升至100℃，采用先進(jìn)的電子和硬件系統(tǒng)即時(shí)監(jiān)測(cè)控制溫度和濕度變化，附加表面光

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更新時(shí)間：2025-12-04
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半導(dǎo)體材料表征

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氣氛可控開(kāi)爾文探針-材料表征
開(kāi)爾文探針是一種非接觸、非破壞性振動(dòng)電容裝置用于導(dǎo)電材料的功函或半導(dǎo)體或絕緣體材料表面的表面電勢(shì)，表面功函由材料表面最頂部的1-3層原子或分子決定，因而開(kāi)爾文探針是一種非常靈敏的表面分析技術(shù)，KP Technology公司目前可提供具有1-3 meV業(yè)界最高分辨率的測(cè)試系統(tǒng)。
RHC020 氣氛控制掃描開(kāi)爾文探針是控制氣氛檢測(cè)樣品的理想解決方案，50x50mm樣品加熱器可將樣品溫度升至100℃，采用先進(jìn)的電子和硬件系統(tǒng)即時(shí)監(jiān)測(cè)控制溫度和濕度變化，附加表面光伏SPV020及表面光電壓譜SPS030模塊，可對(duì)光敏感樣品進(jìn)行強(qiáng)度或波長(zhǎng)可變的激發(fā)。
氣氛可控開(kāi)爾文探針-材料表征
技術(shù)參數(shù)：
● 2mm和50μm探針
● 功函分辨率1-3meV（2mm探針），5-10meV（50μm探針，光學(xué)防震臺(tái)）
● 50mmX50mm最大掃描面積
● 318納米定位分辨率
● 跟蹤系統(tǒng)自動(dòng)控制樣品和探針距離● 附加手動(dòng)高度控制（25.4mm KP 平移）
● 過(guò)零信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)抑制寄生電容
● 50mmX50mm樣品加熱器
● 自動(dòng)相對(duì)濕度控制至1%（10-100%RH）
選件
● 直插型探針支架：2mm-50μm
● 自動(dòng)溫度控制
● 表面光伏模塊SPV020和SPS030