多功能鍍膜系統(tǒng)滿足研究所和研發(fā)部門對(duì)真空薄膜沉積的性能要求，占用空間小，具有超高的性價(jià)比，可以向客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

多功能鍍膜系統(tǒng)特點(diǎn)

小容量，快速重復(fù)工作流程；

活性沉積區(qū)域最大為200nm（8英寸）直徑；

適應(yīng)多種襯底；

可配備多個(gè)濺射源（最多至4個(gè)）；

連續(xù)沉積模式或聯(lián)合沉積模式；

不同工作氣體控制；

共焦陰極分布；

50mm,75mm, 或100mm磁控濺射源；

內(nèi)置陰極角傾斜；

陰極擋板；

直流,脈沖，高頻（HG或MF）電源；

襯底，加熱，冷卻，或者RF/DC偏壓；

可添加預(yù)抽室。

科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國(guó)外高科技儀器廠家在中國(guó)地區(qū)的代理?？祁９疽回灡小赫\(chéng)信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化，為廣大中國(guó)用戶提供儀器、設(shè)備，周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國(guó)力飛速發(fā)展的中國(guó)，納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長(zhǎng)和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域，都需要與歐美發(fā)達(dá)國(guó)家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來實(shí)現(xiàn)。科睿設(shè)備有限公司有幸成長(zhǎng)在這個(gè)火熱的年代，我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄?，見證中國(guó)科技水平的提升，與中國(guó)科技共同飛速成長(zhǎng)。