派瑞林真空鍍膜機(jī)：

聚對(duì)二甲苯鍍膜系統(tǒng)（Parylene Coating System）

蒸發(fā)器   最高 200°C（最多 10 級(jí)）

高溫分解       最高 800°C（3 分區(qū)加熱器）

腔室   內(nèi)徑 200 x 長(zhǎng)度 420（mm）

操作       手動(dòng)和自動(dòng)

尺寸   寬1600 x 深800 x 高1300（毫米）

派瑞林真空鍍膜機(jī)：

蒸發(fā)器

單塊鋁（非焊接，泄漏最小化）

加熱器 ： 最高 200 °C

用于隔熱的門加熱器：最高 200 °C

汽化溫度設(shè)置：最多 10 步（溫度和時(shí)間）

裂解器

管材：石英（或鉻鎳鐵合金作為替代品）

火焰爐加熱器 ： 最高 800°C

3 x 分區(qū)（獨(dú)立）加熱器

溫度傳感器：2線K型傳感器x 3ea（每個(gè)加熱器的每個(gè)傳感器）

沉積室

單塊鋁（非焊接，泄漏最小化）

均勻氣流設(shè)計(jì)（第10-1701381號(hào)）

腔室尺寸 ： 內(nèi)徑 200 mm × L. 420 mm

樣品裝載板

旋轉(zhuǎn)器

冷阱

疏水閥方式：直接疏水閥、玻璃冷凝器

溫度 ： – 80°C

環(huán)境溫度 ： 5 ~ 30°C

真空

泵：油旋轉(zhuǎn)泵

泵排量：1，000 升/分鐘 @ 60Hz

極限壓力： 5×10-3 托

控制器

DSP 板載信號(hào)控制器

自動(dòng)/手動(dòng)操作

交互式集成軟件

10.2“ 觸摸屏 PC 和 USB 數(shù)據(jù)傳輸

保存和加載工藝配方

實(shí)時(shí)過程圖和錯(cuò)誤監(jiān)控 

系統(tǒng)尺寸

主機(jī)系統(tǒng) ： 1600×800×1300 （寬×深×高， 毫米）

冷阱 ： 505×620×750 （寬×深×高， 毫米）

真空泵 ： 283×736×360 （寬×深×高， 毫米）

* 尺寸可能根據(jù)客戶的要求和產(chǎn)品升級(jí)而有所不同