單片晶圓拾取和放置：

SPPE是一種單晶圓拾取和放置機器，它使用非真空端部執(zhí)行器在盒內(nèi)或盒間傳輸晶圓，典型吞吐量為400wph。

晶圓轉(zhuǎn)移前的卡塞映射

傳感器在整個傳輸過程中檢查晶片的安全性

觸摸屏界面

可以創(chuàng)建特定的工藝配方

SECS/ GEM (Option)

靜電防護

能夠處理多種晶圓厚度

檢查模式顯示晶片在空LP2處進行目視檢查

最小晶圓接觸真空自由端部執(zhí)行器手指

TAIKO/MEMS處理-邊緣接觸設(shè)計（可選）

單片晶圓拾取和放置：

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