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BPP是一種臺式批量晶圓拾取和放置工具，它使用非真空技術(shù)在盒之間轉(zhuǎn)移晶圓。傳感器在整個傳輸過程中檢查晶片的安全性。

單片晶圓拾取和放置，SPPE是一種單晶圓拾取和放置機器，它使用非真空端部執(zhí)行器在盒內(nèi)或盒間傳輸晶圓，典型吞吐量為400wph。

臺式晶圓分選機，SPPE-SORT是一款基于SPP架構(gòu)的臺式晶圓分選機。傳感器在整個傳輸過程中檢查晶片的安全性。

六角形分揀機/EFEM 150/200mm自動化平臺，高吞吐量200mm SMIF分揀機，雙晶圓搬運機器人。

Preceptor-SMIF批處理ID讀取器，SMIF Batch ID Reader將Batch ID Reader、Kuka Robotics和SMIF Load Ports組合在一個迷你環(huán)境中。

手動/自動平面或凹口對準器，晶圓對準產(chǎn)品是一種概念簡潔、價格實惠的批量對準工具，專為凹口或平面晶圓而設(shè)計。

手動/自動平面和凹口對準器/升降機，NFE200和FFE150是一種單臺工具，用于對齊晶圓并將其提升以進行檢查。

批次ID讀取器，IDWR系列校準并讀取150（或200）mm批量晶片上的識別標簽。