靜電吸盤能夠通過靜電力將多個芯片以及晶片的一部分夾緊到晶片吸盤上。

靜電吸盤設(shè)備對于研發(fā)機(jī)構(gòu)來說非常有用，因為研發(fā)機(jī)構(gòu)并不總是能夠處理完整的晶圓。芯片的靜電夾緊允許在氫fu酸蒸汽釋放之前對MEMS晶片進(jìn)行苛刻的切割過程。通過修改經(jīng)典的制造順序，可以在輕腐蝕性液體下刻蝕出MEMS器件。

靜電吸盤的使用非常簡單。芯片被放置在晶片架上，電力由控制器箱上的開關(guān)打開。靜電力可以調(diào)節(jié)。

靜電卡盤既可用于整個晶片夾緊，也可用于單個芯片的靜電夾緊。

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