手動(dòng)/自動(dòng)批量晶圓轉(zhuǎn)移：

AWT/MWT（自動(dòng)/手動(dòng)晶圓傳送）機(jī)器在卡塞之間水平傳送晶圓。

安全聯(lián)鎖裝置（AWT）

卡塞放置傳感器

晶圓傳輸過程中異常電阻的電機(jī)過電流檢測(cè)      

當(dāng)聯(lián)鎖激活時(shí)，晶片傳輸將停止

MWT有一個(gè)自返回的傳送臂，因此機(jī)器隨時(shí)可以使用。

反向卡塞裝載時(shí)可以批量翻轉(zhuǎn)

手動(dòng)/自動(dòng)批量晶圓轉(zhuǎn)移：

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