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垂直批量晶圓傳送和平面/凹口對(duì)齊

簡(jiǎn)要描述:垂直批量晶圓傳送和平面/凹口對(duì)齊,VBT系列機(jī)器是一種單級(jí)自動(dòng)垂直晶圓轉(zhuǎn)移工具,具有凹口/平面對(duì)齊選項(xiàng)。

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  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-12-04
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垂直批量晶圓傳送和平面/凹口對(duì)齊

VBT系列機(jī)器是一種單級(jí)自動(dòng)垂直晶圓轉(zhuǎn)移工具,具有凹口/平面對(duì)齊選項(xiàng)。

邊緣的晶圓處理

檢測(cè)傳感器,用于監(jiān)測(cè)傳輸和對(duì)齊過(guò)程。

占地面積小。

垂直批量晶圓傳送和平面/凹口對(duì)齊

Model

Wafer Size

Description

VBT150

VBT150A

150 mm

Vertical Batch Transfer (VBT)

VBT with Flat Aligner

VBT200

VBT200A

200 mm

Vertical Batch Transfer (VBT)

VBT with Notch Aligner

VBT200Q

200 mm

VBT for Quartz Boat

VBT100C

VBT150C

VBT200C

100mm/150mm/200mm

Vertical Batch Transfer Open   Cassette/Clamshell

VBT125/150

VBT125/150Q

125mm/150mm

Vertical Batch Transfer

Vertical Batch Transfer for Quartz Boat



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