Midas推出了一個(gè)臺(tái)式、獨(dú)立的NANO IMPRINT納米壓印。
該平臺(tái)提供了一個(gè)帶有微定位裝置的機(jī)械平臺(tái)，用于安裝納米壓印室、UV固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。
它既可以作為納米壓印系統(tǒng)，也可以作為傳統(tǒng)的掩模對準(zhǔn)器，同時(shí)為您的整個(gè)壓印過程提供可編程的自動(dòng)控制。
NANO IMPRINT納米壓印的特點(diǎn)：
•分辨率低于10nm，產(chǎn)率為99%
•支持硬模和軟模
•可變的模具和基板尺寸提供了無與的倫比的便利性和靈活性
•自動(dòng)釋放過程可防止分離過程中模具/基板損壞，并最大限度地提高每個(gè)印記的產(chǎn)量
•自動(dòng)釋放過程可防止分離過程中模具/基板損壞，并最大限度地提高每個(gè)印記的產(chǎn)量
•多種應(yīng)用的多功能流程：
•光學(xué)設(shè)備、顯示器、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、生物醫(yī)學(xué)
•器件、半導(dǎo)體IC、化學(xué)合成和*材料
•帶觸摸屏用戶界面的可編程PLC允許通過定制參數(shù)進(jìn)行過程控制
•業(yè)UV固化納米壓印抗蝕劑對硬度或厚度沒有限制，與傳統(tǒng)光刻工藝兼容